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          產(chǎn)品資料
          
    
          
        
          

            













          
    
          
        
          
            
          


                
                
          
                    
          
                    
          電腦操控，可多根連合的離子棒
          
                    
          產(chǎn)品型號：5225
          
                    
          產(chǎn)品廠商：
          
                    
          簡介：
          Simco-Ion 型號 5225 離子棒，以數(shù)碼電路設(shè)計和透過軟件操控，滿足設(shè)備內(nèi)的防靜電需求。它提供高離子輸出量，能快速中和晶圓上的靜電，符合 E78 標準上*嚴格的要求。棒身以空氣動力學(xué)設(shè)計和高潔凈度材料制造，使得 5225 離子棒在微型潔凈室內(nèi)，完全發(fā)揮靜電防控能力，而不干擾室內(nèi)層流氣流。

5225 離子棒能結(jié)合設(shè)備系統(tǒng)，使用預(yù)編軟件或開放的源代碼范例，與設(shè)備接口的無縫連接，作出低成本的靜電防控方案，減低維護費用，和有更好的警報功能。系統(tǒng)警報和信息能交替顯示在設(shè)備控制器上，另有設(shè)備監(jiān)控輸出作其他警報提醒。
Simco-Ion 強大的軟件系統(tǒng)提供**的離子棒控制，設(shè)置包括：工作模式調(diào)整 (脈沖模式，穩(wěn)態(tài)模式，待機)，信號同步，電離開關(guān)時間，輸出功率，正負極的警報閾值，每根棒都能獨立設(shè)置。精準的警報和維修檢測，也能降低的故障耗時和診斷工作。
          

                    
          
                        
          
                            
          
                                
                                
                                    
          
                                        
          
                                            
          
                                                
                                            
          
                                        
          
                                    
          
                                          		
                                
                            
          
                        
          
                    
          
                
          
            
          
        
          
    
          

          

          
    
    
          
        
          
            
          
	產(chǎn)品參數(shù) 

          

          
	
          
		
			
          
				
					
          
						         產(chǎn)品型號 
					
          
				          		
				
					
          
						         5225 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         工作電壓 
					
          
				          		
				
					
          
						         24 VAC，50/60 Hz，1W (typ)，由介面模組提供 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         輸入電壓
					
          
				          		
				
					
          
						            0-20 kVDC，±10% @ 離子棒上每個極性，正負極性的輸出可以通過軟件的 GUI 設(shè)置
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         輸出電流 
					
          
				          		
				
					
          
						         <15 μA，電流和電壓限定
          
           
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         信號接口 
					
          
				          		
				
					
          
						         介面模組的 RS-485 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         接      口 
					
          
				          		
				
					
          
						         RJ-11 modular jack receptacles 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         調(diào)     節(jié) 
					
          
				          		
				
					
          
						         通過單獨校準離子棒的每個極性的輸出電流，來達到輸出和平衡的穩(wěn)定性
          
           
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					 
					
          
						         脈沖定頻 
					
          
				          		
				
					
          
						         每個極性的電離開關(guān)時序，0-10 秒 @ 0.1 秒 調(diào)級，棒上的LED 顯示電離極性
          
           
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         工作模式 
					
          
				          		
				
					
          
						         脈沖直流，穩(wěn)態(tài)直流，待機 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         警      報 
					
          
				          		
				
					
          
						         警報啟動 - 當離子棒不能再維持設(shè)定的離子輸出量，在棒上有紅色的 LED 顯示，或者顯示
					
          
					
          
						        在監(jiān)控軟件 的 GUI 上；警報限制閾值可設(shè)定，作預(yù)防性維護。
          
           
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         靜電針材質(zhì) 
					
          
				          		
				
					
          
						         單晶硅，可替換 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         預(yù)防性維護 
					
          
				          		
				
					
          
						         維護周期 - 年度，半年度，或季度 - 取決于環(huán)境和制程的敏感度 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         臭氧產(chǎn)生 
					
          
				          		
				
					
          
						         <0.005 ppm 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         EMI 
					
          
				          		
				
					
          
						         低于背景水平 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         LED 顯示 
					
          
				          		
				
					
          
						         正和負的紅色 LED 會閃爍，表示工作。中間的紅色 LED 快速閃爍表示警報。
					
          
					
          
						        全部 3 個紅色 LED 閃爍表示通信發(fā)生問題。報警也會在監(jiān)控軟件 的 GUI 上顯示
					
          
					
          
						
          
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         體     積 
					
          
				          		
				
					          5.3H x 3.1W x (56.9，72.1，90.7，112.8，141.2，163.6，191.8or 214.4L) cm
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         重     量 
					
          
				          		
				
					
          
						         1.02 kg (56.9 cm) 長的棒 (約 每 30 cm 長度，有 0.17 kg 重量) 
					
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         封     裝 
					
          
				          		
				
					           ABS plastics，防火阻燃
          
				          		
			
          
			
          
				
					
          
						         保修期 
					
          
				          		
				
					           兩年有限保修
          
				          		
			
          
		          
	
          

          
           

          

          
	
          
           

          

          
	
          
           

          

          
	
          
           

          

          
	
          
           

          

          
	
          
           

          

          
        
          
    
          
    
          
        

          
    
          
	
        
          
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